真空爐一般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運輸車等組成。

　　密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。

　　為防止真空爐爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。

　　根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。

　　熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注裝置和裝卸料的機械手等。

　　真空爐的真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。

　　真空爐出現(xiàn)于20世紀30年代前后，1927年美國制成電工材料真空退火爐，1953年真空自耗電弧爐在工業(yè)中得到應用。